Was ist Verdünnte Flusssäure (DHF)?
Mit Wasser verdünnte Flusssäure. Sie entfernt natives Oxid von Silizium und hinterlässt eine hydrophobe, wasserstoffterminierte Oberfläche.
Japanische Bezeichnung: 希フッ酸(DHF)
Fachgebiet: CMP und Reinigung
Verwandte Begriffe
Ceroxid (Ceria) CMP (chemisch-mechanisches Polieren) Dishing (Muldenbildung) Einzelwaferreinigung Erosion Megasonic-Reinigung Natives Oxid Pad-Konditionierung Prestonsche Gleichung RCA-Reinigung