Was ist Schärfentiefe (DOF)?

Fokusbereich, in dem ein Muster mit akzeptabler Qualität abgebildet wird. Eine höhere numerische Apertur verbessert die Auflösung, verringert aber die DOF, weshalb die Ebenheit des Wafers wichtig ist.

Japanische Bezeichnung: 焦点深度(DOF)

Fachgebiet: Lithografie

Verwandte Begriffe

ArF-Excimerlaser Bodenseitige Antireflexschicht (BARC) Chemisch verstärkter Resist EUV-Lithografie Fotolack High-NA-EUV Immersionslithografie Linienkantenrauheit (LER) Mehrfachstrukturierung (Multiple Patterning) Nanoimprint-Lithografie

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