焦点深度(DOF)란?
しょうてんしんど
パターンを許容できる品質で転写できる焦点の範囲。開口数を大きくすると解像度は上がるが焦点深度は浅くなるため、ウエハの平坦化が重要になる。
일본어 명칭: 焦点深度(DOF)
분야: 포토리소그래피
관련 용어
開口数(NA) 反射防止膜(BARC) 液浸露光 位相シフトマスク 化学増幅型レジスト ArFエキシマレーザー EUV露光 High-NA EUV OPC(光学近接効果補正) オーバーレイ(重ね合わせ精度)
しょうてんしんど
パターンを許容できる品質で転写できる焦点の範囲。開口数を大きくすると解像度は上がるが焦点深度は浅くなるため、ウエハの平坦化が重要になる。
일본어 명칭: 焦点深度(DOF)
분야: 포토리소그래피
開口数(NA) 反射防止膜(BARC) 液浸露光 位相シフトマスク 化学増幅型レジスト ArFエキシマレーザー EUV露光 High-NA EUV OPC(光学近接効果補正) オーバーレイ(重ね合わせ精度)