Prozessmaterialien (Gase, Chemikalien)
Welche Aussage zu Phosphin (PH3) und Arsin (AsH3), die zur Einbringung von n-Dotierstoffen verwendet werden, ist korrekt?
- ASie sind unschädlich, und es ist keine besondere Kontrolle nötig
- BSie sind extrem giftig, und eine strenge Leckkontrolle ist erforderlich
- CSie sind nicht brennbar und geruchlos und gefahrlos in die Luft abzugeben
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Antwort: B. Sie sind extrem giftig, und eine strenge Leckkontrolle ist erforderlich
Phosphin und Arsin sind Gase mit so hoher Giftigkeit, dass ihre zulässige Konzentration bei höchstens 0.05 ppm liegt. Sie werden streng kontrolliert durch eine Kombination aus Gasschrank, Leckdetektoren, Notabsperrventilen und Abgasbehandlungsanlage. Damit sie bei Lecks kaum nach außen gelangen, werden auch breit Behälter eingesetzt, bei denen das Gas an einem porösen Adsorptionsmaterial adsorbiert und mit einem Druck unter Atmosphärendruck zugeführt wird. Es sind weder nicht brennbare noch unschädliche Gase; Phosphin ist außerdem brennbar.