Prozessmaterialien (Gase, Chemikalien)

Welche Kombination der Hauptbestandteile chemisch verstärkter Fotolacke ist korrekt?

  1. ABasisharz, Photosäurebildner (PAG), Lösungsmittel
  2. BKupferpartikel und Wasser
  3. CEinkristallines Silizium und Sauerstoff
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Antwort: A. Basisharz, Photosäurebildner (PAG), Lösungsmittel

Chemisch verstärkte Lacke bestehen hauptsächlich aus Basisharz, Photosäurebildner (PAG) und Lösungsmittel, dazu kommen Quencher zur Unterdrückung der Säurediffusion u. Ä. Die bei der Belichtung aus dem PAG entstehende Säure wirkt beim Post-Exposure-Bake (PEB) als Katalysator, spaltet mit einem Molekül viele Schutzgruppen ab und ändert die Löslichkeit des Harzes. Durch diese Verstärkung steigt die Empfindlichkeit stark, weshalb sie bei schwachem Licht der KrF-, ArF- und EUV-Belichtung verwendet werden.

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