Welche Einheiten werden häufig für die Verunreinigungskonzentration hochreiner Gase und Chemikalien für Halbleiter verwendet?

Antwort: A. ppb (Milliardstel) und ppt (Billionstel)

Bei Halbleitermaterialien werden metallische Verunreinigungen u. Ä. in Einheiten von ppb (10⁻⁹) und ppt (10⁻¹²) kontrolliert. Da schon eine metallische Kontamination der Waferoberfläche von etwa 10¹⁰ atoms/cm² problematisch ist, müssen auch die Verunreinigungen in Chemikalien und Gasen entsprechend niedrig sein. % ist eine Einheit für Hundertstel und zu grob für Verunreinigungen von Halbleitermaterialien. kg ist eine Masseneinheit und gibt keine Konzentration an.