Welche typische Kenngröße dient zur Reinheitskontrolle von in der Halbleiterfertigung verwendetem Reinstwasser?

Antwort: B. Spezifischer Widerstand (Resistivität)

Je weniger Ionen im Wasser gelöst sind, desto schlechter leitet es, daher wird die Reinheit von Reinstwasser über den spezifischen Widerstand kontrolliert. Die theoretische Obergrenze, die allein durch die Eigendissoziation des Wassers bestimmt wird, beträgt bei 25 ℃ etwa 18.2 MΩ·cm, und Reinstwasser für Halbleiter wird nahe diesem Wert gehalten. Da der spezifische Widerstand nicht auf Verunreinigungen außer Ionen reagiert, werden TOC (gesamter organischer Kohlenstoff), Partikel, gelöster Sauerstoff und Silica zusätzlich auf ppb-Niveau überwacht. Farbe und Viskosität zeigen Reinheitsunterschiede nicht an.