Prozessmaterialien (Gase, Chemikalien)
Welcher Wert ist als Richtwert der für polykristallines Silizium (Polysilizium) als Ausgangsmaterial für Halbleiter geforderten Reinheit am besten geeignet?
- Aca. 99 %
- Bca. 99.99 %
- Cca. 99.999999999 % (11N)
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Antwort: C. ca. 99.999999999 % (11N)
Für polykristallines Silizium für Halbleiter wird eine Reinheit der Klasse Eleven-Nine (11N) mit elf Neunen verlangt, bei der die Verunreinigungen insgesamt nur etwa 0.01 ppb betragen. Metallische Verunreinigungen verkürzen schon in kleinster Menge die Ladungsträgerlebensdauer und erhöhen den Leckstrom. Das Material wird im Siemens-Verfahren hergestellt, bei dem Trichlorsilan mit Wasserstoff reduziert und abgeschieden wird. Für Solarzellen genügen etwa 6N bis 9N; 99 % und 99.99 % reichen für Halbleiter bei Weitem nicht.