Was ist Monosilan (SiH4)?

Gasförmige Verbindung aus Silizium und Wasserstoff, die als Ausgangsstoff für die CVD von Polysilizium, Siliziumoxid und Siliziumnitrid dient. Sie entzündet sich an Luft von selbst und wird daher streng kontrolliert gehandhabt.

Japanische Bezeichnung: シラン(SiH4)