Prozessmaterialien (Gase, Chemikalien)

Welche Gase werden hauptsächlich zum Trockenätzen von Siliziumoxid (SiO2) verwendet?

  1. ANur Stickstoffgas
  2. BNur Heliumgas
  3. CFluorkohlenstoffgase wie CF4 und C4F8
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Antwort: C. Fluorkohlenstoffgase wie CF4 und C4F8

Zum Trockenätzen von SiO2 wird Plasma aus Fluorkohlenstoffgasen wie CF4 und C4F8 verwendet. Fluor verbindet sich mit Si zu flüchtigem SiF4, und Kohlenstoff bildet mit dem Sauerstoff des Films CO und CO2, die abgepumpt werden. Mit Stickstoff oder Helium allein findet keine chemische Reaktion statt, und der Film wird nicht abgetragen. Da diese Gase ein Treibhauspotenzial von mehreren tausend Mal dem von CO2 und mehr haben, werden sie nach Gebrauch in einer Abgasbehandlungsanlage zersetzt und dann abgeleitet.

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