Warum wird bei Leitungen für Halogengase wie Chlorwasserstoff die Feuchtigkeit im Gas besonders streng kontrolliert?

Antwort: B. Weil es bei Feuchtigkeit zu einer korrosiven, salzsäureähnlichen Flüssigkeit wird, Edelstahlleitungen korrodiert und metallische Kontamination verursacht

Trockener Chlorwasserstoff korrodiert Edelstahl kaum, doch kommt Feuchtigkeit hinzu, ist er wie Salzsäure stark korrosiv. Korrodiert die Leitungsinnenfläche, mischen sich Metalle wie Eisen, Chrom und Nickel ins Gas und verunreinigen den Wafer, und die Korrosionsprodukte werden auch zu Partikeln. Daher werden Leitungen für Halogengase vor Gebrauch ausreichend getrocknet und die Feuchtigkeit auf ppb-Niveau gedrückt. Änderungen von Gewicht oder Farbe sind nicht das Problem.