Messtechnik und Analytik

Was wird auf dem Wafer zur Messung des Überlagerungsversatzes (Overlay) vorgesehen?

  1. ABondpads
  2. BNotch
  3. CSpezielle Marken für die Overlay-Messung
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Antwort: C. Spezielle Marken für die Overlay-Messung

Zur Messung der Überlagerungsgenauigkeit werden z. B. in den Ritzgräben spezielle Marken erzeugt, in denen Strukturen der vorherigen und der aktuellen Schicht kombiniert sind. Mit optischen Geräten wird der Versatz der Mittelpunkte beider Strukturen gemessen oder aus dem Unterschied des von oberen und unteren Gittern gebeugten Lichts bestimmt. Das Ergebnis wird als Versatz je Position im Wafer an die Belichtungsanlage gesendet und zur Korrektur des nächsten Loses verwendet. Bondpads und Notch dienen anderen Zwecken.

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