Messtechnik und Analytik

Welches Verfahren bestimmt Dicke und Dichte dünner Schichten aus den Oszillationen der Reflektivität bei Röntgeneinstrahlung unter sehr flachem Winkel?

  1. ASIMS
  2. BRöntgenreflektometrie (XRR)
  3. CVierspitzenmessung
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Antwort: B. Röntgenreflektometrie (XRR)

Bei XRR wird die Reflektivität bei flachem Einfallswinkel der Röntgenstrahlen unter Variation des Winkels gemessen. Da an Oberfläche und Grenzfläche der Schicht reflektierte Röntgenstrahlen interferieren, oszilliert die Reflektivität; aus der Periode folgt die Schichtdicke, aus dem kritischen Winkel der Totalreflexion die Dichte der Schicht und aus der Dämpfung der Oszillation die Grenzflächenrauheit. Da ohne Annahme optischer Konstanten gemessen werden kann, eignet sich XRR für die Bewertung extrem dünner Schichten von einigen nm. SIMS und Vierspitzenmessung messen andere Größen.

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