Was ist Mehrlagenverdrahtung?
Eine Struktur, die viele durch Isolierschichten getrennte Leitungslagen stapelt und vertikal über Vias verbindet. Hochmoderne ICs haben mehr als zehn Lagen.
Japanische Bezeichnung: 多層配線
Fachgebiet: Verdrahtungsprozesse
Verwandte Begriffe
Barrieremetall (Diffusionsbarriere) Black'sche Gleichung Damascene-Verfahren Dual-Damascene-Verfahren IR-Drop (Spannungsabfall) Keimschicht (Seed Layer) Low-k-Material Luftspalt (Air Gap) MOL (Middle of Line) Passivierungsschicht