Was bestimmt bei der gerichteten Selbstassemblierung (DSA) hauptsächlich die Periode der Streifen, die ein Blockcopolymer von selbst bildet?

Antwort: A. Die Moleküllänge (das Molekulargewicht) des Blockcopolymers

Ein Blockcopolymer besteht aus zwei Ketten verschiedener Polymere, die an den Enden verbunden sind. Beim Tempern versuchen sich die beiden Blöcke zu entmischen, können sich aber wegen ihrer Verbindung nicht weit voneinander entfernen und bilden so ein Muster, dessen Periode durch die Moleküllänge bestimmt ist. Die Periode lässt sich über das Molekulargewicht einstellen, und wie fein sie werden kann, hängt vom χ-Parameter ab, der die Stärke der Entmischung ausdrückt. Bei der gerichteten Selbstassemblierung (DSA) richten lithografisch erzeugte Führungsstrukturen Lage und Orientierung des Musters aus.