포토리소그래피
유도 자기 조립(DSA)에서 블록 공중합체가 저절로 만드는 줄무늬의 주기를 주로 결정하는 것은?
- A블록 공중합체의 분자 길이(분자량)
- B노광 장비 광원의 파장
- C레지스트를 현상하는 시간
정답과 해설 보기
정답: A. 블록 공중합체의 분자 길이(분자량)
블록 공중합체는 성질이 다른 두 종류의 고분자 사슬을 끝에서 연결한 재료로, 열처리하면 두 블록이 분리되려 하면서도 연결되어 있어 멀리까지는 분리되지 못하므로, 분자 길이로 정해지는 주기의 무늬를 만듭니다. 주기는 분자량으로 조정할 수 있고, 어디까지 미세하게 할 수 있는지는 분리하려는 힘의 세기를 나타내는 χ 파라미터에 좌우됩니다. 유도 자기 조립(DSA)에서는 리소그래피로 만든 가이드로 무늬의 위치와 방향을 정렬합니다.