Welche Maßnahme verbessert nach der Auflösungsformel R = k1 × λ / NA die Auflösung (verkleinert R)?

Antwort: A. Die Belichtungswellenlänge verkürzen und die numerische Apertur (NA) vergrößern

Nach der Rayleigh-Formel R = k1·λ/NA wird R kleiner, wenn die Wellenlänge λ verkürzt, die numerische Apertur NA vergrößert und k1 gesenkt wird. Die Lichtquellen wurden zu kürzeren Wellenlängen entwickelt: g-Linie (436 nm), i-Linie (365 nm), KrF (248 nm), ArF (193 nm), EUV (13,5 nm); auch die NA wurde von etwa 0,3 bis auf 1,35 bei Immersion erweitert. Bei ArF-Immersion (NA 1,35, k1 0,27) ergibt sich beispielsweise R ≈ 39 nm, und für feinere Pitches sind Multi-Patterning oder EUV nötig.