Lithographie

En autoassemblage dirigé (DSA), qu'est-ce qui détermine principalement la période des bandes qu'un copolymère à blocs forme de lui-même ?

  1. ALa longueur des molécules (la masse moléculaire) du copolymère à blocs
  2. BLa longueur d'onde de l'outil d'exposition
  3. CLa durée de développement de la résine
Afficher la réponse et l'explication

Réponse : A. La longueur des molécules (la masse moléculaire) du copolymère à blocs

Un copolymère à blocs relie bout à bout des chaînes de deux polymères différents. Lors d'un recuit, les deux blocs tendent à se séparer mais, étant liés, ne peuvent pas s'éloigner beaucoup : ils forment donc un motif dont la période est fixée par la longueur des molécules. La période se règle par la masse moléculaire, et la finesse atteignable dépend du paramètre χ, qui exprime la force de séparation des blocs. En autoassemblage dirigé (DSA), des guides réalisés par lithographie alignent la position et l'orientation du motif.

S'entraîner sur ce thème Retour au thème

Calculateurs associés

Autres questions sur Lithographie

  1. Quel effet attend-on de la combinaison de l'autoassemblage dirigé (DSA) avec la lithographie EUV ?
  2. D'après la formule de résolution R = k1 × λ / NA, quelle méthode permet d'améliorer la résolution (réduire R) ?
  3. Quelle est la longueur d'onde de la lumière utilisée en lithographie EUV ?
  4. Quelle description d'une résine photosensible positive est correcte ?
  5. Quelle description de la lithographie ArF à immersion est correcte ?

Comparatifs sur ce thème