Lithographie
En autoassemblage dirigé (DSA), qu'est-ce qui détermine principalement la période des bandes qu'un copolymère à blocs forme de lui-même ?
- ALa longueur des molécules (la masse moléculaire) du copolymère à blocs
- BLa longueur d'onde de l'outil d'exposition
- CLa durée de développement de la résine
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Réponse : A. La longueur des molécules (la masse moléculaire) du copolymère à blocs
Un copolymère à blocs relie bout à bout des chaînes de deux polymères différents. Lors d'un recuit, les deux blocs tendent à se séparer mais, étant liés, ne peuvent pas s'éloigner beaucoup : ils forment donc un motif dont la période est fixée par la longueur des molécules. La période se règle par la masse moléculaire, et la finesse atteignable dépend du paramètre χ, qui exprime la force de séparation des blocs. En autoassemblage dirigé (DSA), des guides réalisés par lithographie alignent la position et l'orientation du motif.