Lithografie
Wat bepaalt bij gerichte zelfassemblage (DSA) vooral de periode van de strepen die een blokcopolymeer uit zichzelf vormt?
- ADe moleculaire lengte (het molecuulgewicht) van het blokcopolymeer
- BDe golflengte van de belichtingsmachine
- CDe ontwikkeltijd van de resist
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. De moleculaire lengte (het molecuulgewicht) van het blokcopolymeer
Een blokcopolymeer verbindt ketens van twee verschillende polymeren aan hun uiteinden. Bij een warmtebehandeling proberen de twee blokken zich te scheiden, maar omdat ze verbonden zijn, kunnen ze dat niet over grote afstand, zodat ze een patroon vormen waarvan de periode door de moleculaire lengte wordt bepaald. De periode kan met het molecuulgewicht worden ingesteld, en hoe fijn ze kan worden, hangt af van de χ-parameter, die uitdrukt hoe sterk de blokken zich scheiden. Bij gerichte zelfassemblage (DSA) richten met lithografie gemaakte geleidingspatronen de positie en oriëntatie van het patroon.