Welche Technik erhöht die Auflösung feiner Strukturen, indem die Maske aus schräger Richtung beleuchtet wird?

Antwort: B. Off-Axis-Beleuchtung (schräge Beleuchtung)

Bei feinen periodischen Strukturen breiten sich die Beugungsordnungen unter großen Winkeln aus und gelangen nicht mehr in die Linse, sodass das 0. Beugungsmaximum allein kein Bild ergibt. Bei schrägem Lichteinfall können sowohl das 0. als auch die 1. Beugungsordnung einer Seite von der Linse erfasst werden; theoretisch lässt sich dadurch der auflösbare Pitch auf etwa die Hälfte verringern, und die Schärfentiefe wird größer. Es gibt Ringbeleuchtung sowie Dipol- und Quadrupolbeleuchtung; heute werden Beleuchtungssysteme verwendet, die die Form der Lichtquelle pixelweise frei einstellen können.