Welche Einrichtung führt im Reinraum Ionen in die Luft ein, um die Aufladung von Wafern und Anlagen zu neutralisieren?

Antwort: B. Ionisator (Entladungseinrichtung)

In trockenen Reinräumen entsteht leicht statische Elektrizität; aufgeladene Wafer und Masken ziehen Partikel an, und elektrostatische Entladungen können Bauelemente und Maskenstrukturen beschädigen. Ein Ionisator erzeugt z. B. durch Koronaentladung positive und negative Ionen und gibt sie an die Luft ab, um die Aufladung von Objekten zu neutralisieren. Besonders wirksam ist er bei Isolatoren, die sich nicht erden lassen. ULPA-Filter dienen der Partikelentfernung, Scrubber der Abgaswäsche.