Reinraum und Fertigungsanlagen

Welche Einrichtung vereint Filter und Ventilator und wird in der Decke angeordnet, um saubere Luft auszublasen?

  1. AFFU (Fan Filter Unit)
  2. BEFEM
  3. COHT
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Antwort: A. FFU (Fan Filter Unit)

Eine FFU ist eine Einheit, die einen Ventilator mit einem HEPA-/ULPA-Filter vereint; viele davon werden in der Reinraumdecke nebeneinander angeordnet und blasen saubere Luft nach unten aus. Der Luftstrom lässt sich pro Einheit einstellen, und Layoutänderungen oder eine teilweise Änderung der Reinheit sind leicht umsetzbar; deshalb wird sie anstelle von Verfahren mit großen Luftkanälen breit eingesetzt. Das EFEM ist ein Frontmodul der Anlage, das OHT ein Deckentransportfahrzeug.

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