Was ist ein richtiger Grund dafür, die Luftfeuchtigkeit im Reinraum nicht extrem niedrig werden zu lassen?

Antwort: B. Weil bei zu niedriger Luftfeuchtigkeit leichter statische Elektrizität entsteht

Ist die Luft zu trocken, entsteht leichter statische Elektrizität, die zur Anhaftung von Partikeln am Wafer und zu Schäden an Bauelementen durch elektrostatische Entladung führt. Ist die Luftfeuchtigkeit dagegen zu hoch, ändern sich Empfindlichkeit und Haftung des Resists, und die Korrosion von Metallen schreitet fort. Daher wird die Luftfeuchtigkeit im Reinraum häufig in einem konstanten Bereich um 40 bis 45 % r. F. gehalten. Schimmel oder die Helligkeit der Beleuchtung sind nicht der Grund.