Reinraum und Fertigungsanlagen

Was darf nur unter strengen Einschränkungen in den Reinraum mitgebracht werden?

  1. ASpezialpapier für den Reinraum (partikelarmes Papier)
  2. BFOUP
  3. CGewöhnliches Papier, Bleistifte und andere leicht Partikel abgebende Gegenstände
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Antwort: C. Gewöhnliches Papier, Bleistifte und andere leicht Partikel abgebende Gegenstände

Gewöhnliches Papier verliert leicht Fasern, und Bleistifte erzeugen Späne und Graphitstaub; sie sind im Reinraum daher nicht verwendbar. Stattdessen werden partikelarmes Papier und spezielle Kugelschreiber benutzt. Auch Kosmetika und Haarpflegemittel können Ursachen von Partikel- oder molekularer Kontamination sein und sind teils eingeschränkt. Mitzubringende Gegenstände werden abgewischt oder in spezielle Beutel umgepackt und z. B. über die Pass-Box eingebracht. Partikelarmes Papier und FOUPs dürfen verwendet werden.

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