실리콘 단결정 잉곳의 직경을 일정하게 유지하기 위해 인상 중에 주로 조정하는 조건은 무엇인가?

정답: A. 인상 속도나 융액의 온도

CZ법에서는 결정과 융액의 경계에 생기는 밝은 고리(메니스커스)를 카메라로 감시하고, 그 지름에서 직경을 구해 인상 속도와 히터 출력(융액의 온도)을 자동으로 조정하여 직경을 일정하게 유지합니다. 빠르게 끌어올리면 가늘어지고, 느리게 끌어올리면 굵어집니다. 인상 속도는 V/G를 통해 결정에 유입되는 점결함의 종류에도 영향을 주므로, 직경과 결함을 모두 고려한 정밀한 제어가 필요합니다.