シリコンウエハ

シリコン単結晶インゴットの直径を一定に保つため、引き上げ中に主に調整する条件はどれか。

  1. A引き上げ速度や融液の温度
  2. Bインゴットの色
  3. C工場の照明の明るさ
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正解:A. 引き上げ速度や融液の温度

CZ法では、結晶と融液の境界付近の様子をカメラなどで監視し、引き上げ速度やヒーターの出力(融液の温度)を調整して、結晶の直径を一定に保ちます。引き上げ速度は直径だけでなく、結晶に取り込まれる欠陥にも影響します。

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