웨이퍼의 저항률을 비접촉으로 측정하는 방법으로 사용되는 것은?

정답: C. 와전류를 이용한 측정

교류 자기장을 걸면 웨이퍼 내에 와전류가 흐르며, 그 크기는 도전율(면저항)에 따라 달라집니다. 이를 코일로 검출하여 웨이퍼에 접촉하지 않고 저항률을 측정할 수 있습니다. 탐침을 대는 4탐침법과 달리 표면에 흠집이 나지 않고 오염도 없으므로, 웨이퍼 입고 검사나 금속막 두께 측정(면저항에서 환산) 등에 사용됩니다. 맵핑하여 웨이퍼 내 분포도 평가할 수 있습니다.