シリコンウエハ

ウエハの抵抗率を非接触で測定する方法として使われるものはどれか。

  1. ASIMS
  2. BTEM観察
  3. C渦電流を利用した測定
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正解：C. 渦電流を利用した測定

交流磁界をかけるとウエハ内に渦電流が流れ、その大きさは導電率によって変わります。これを検出して、ウエハに触れずに抵抗率(シート抵抗)を測定できます。針を当てる4探針法と異なり、表面を傷つけないため、受け入れ検査などに使われます。

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