刻在晶圓正面或背面的雷射標記(ID標記)，其目的是哪一項？

正確答案：C. 逐片識別晶圓，使製程履歷可以追蹤

晶圓的正面或背面外周附近，會以雷射刻上獨一無二的編號(英數字或二維碼)。設備讀取後即可識別晶圓，並記錄它在哪台設備、以什麼條件處理，以及檢查結果為何(可追溯性)。發現不良時，可據此回溯原因製程與設備，也可與晶圓內的位置資訊結合來分析良率。