300 mmウエハで一般的な研磨の方法として正しいものはどれか。

正解：A. 表と裏の両面を研磨して、高い平坦度を得る

300 mmウエハでは、厳しい平坦度の要求に応えるため、表面と裏面を同時に研磨する両面研磨が一般的です。その後、表面を仕上げ研磨して鏡面にします。裏面も平滑になるため、ステージへの吸着時の変形やパーティクルの発生も抑えられます。