測試與檢查
對於掃描測試中不良的晶片,根據哪個輸出的哪個圖樣出現不一致的資訊,以邏輯方式縮小可能故障位置的候選範圍的處理,稱為什麼?
- A故障診斷(diagnosis)
- B吸附(gettering)
- C微影(lithography)
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正確答案:A. 故障診斷(diagnosis)
故障診斷是將不良晶片的測試結果,與假設故障的模擬結果對照,縮小可能發生故障的網路(net)或單元候選範圍的處理。由於能縮小實體故障分析中切剖面的位置,因此可大幅縮短分析時間。在統計彙整大量不良晶片診斷結果的量產診斷中,可找出偏向特定配線圖樣或單元的系統性不良,有助於提升良率。
- A. 正確。是從測試結果縮小故障位置候選範圍的處理。
- B. 吸附(gettering)是捕捉有害雜質的技術。
- C. 微影是轉印圖樣的製程。