스캔 테스트에서 불량이 된 칩에 대해, 어느 출력의 어느 패턴에서 불일치가 나왔는지 정보로부터 고장 났을 것 같은 위치의 후보를 논리적으로 좁혀 가는 처리를 무엇이라고 부릅니까?

정답: A. 고장 진단(다이애그노시스)

고장 진단은 불량 칩의 테스트 결과와, 고장을 가정한 시뮬레이션 결과를 대조하여 고장이 일어났을 것 같은 넷이나 셀의 후보를 좁혀 가는 처리입니다. 물리적 고장 해석에서 단면을 자를 위치를 좁힐 수 있으므로 해석 시간을 크게 단축할 수 있습니다. 다수 불량 칩의 진단 결과를 통계적으로 모으는 양산 진단에서는 특정 배선 패턴이나 셀에 치우치는 계통적 불량을 찾아 수율 향상에 활용합니다.

• A. 올바릅니다. 테스트 결과로 고장 위치 후보를 좁혀 가는 처리입니다.
• B. 게터링은 해로운 불순물을 포획하는 기술입니다.
• C. 리소그래피는 패턴을 전사하는 공정입니다.