スキャンテストで不良になったチップについて、どの出力のどのパターンで不一致が出たかの情報から、故障していそうな場所の候補を論理的に絞り込む処理を何と呼ぶか。

正解：A. 故障診断(ダイアグノシス)

故障診断は、不良チップのテスト結果と、故障を仮定したシミュレーションの結果を照合して、故障が起きていそうなネットやセルの候補を絞り込む処理です。物理的な故障解析の場所を絞り込み、製造工程の問題点の特定や歩留まりの向上に役立ちます。

• A. 正しい。テスト結果から故障箇所の候補を絞り込む処理です。
• B. ゲッタリングは有害な不純物を捕らえる技術です。
• C. リソグラフィはパターンを転写する工程です。