エピタキシャル成長や熱処理で、キャリアガスや還元性の雰囲気として使われるガスはどれか。

正解：B. 水素(H2)

水素は、エピタキシャル成長の原料を運ぶキャリアガスや、表面の自然酸化膜を除去する還元性の雰囲気、フォーミングガスアニールなどに使われます。可燃性で爆発の危険があるため、漏えい検知などの安全対策のもとで使用します。