공정 재료(가스와 케미칼)

에피택셜 성장이나 열처리에서 캐리어 가스나 환원성 분위기로 쓰이는 가스는 무엇입니까?

  1. A오존
  2. B수소(H2)
  3. C염소
정답과 해설 보기

정답: B. 수소(H2)

수소는 에피택셜 성장의 원료를 운반하는 캐리어 가스나, 성장 전에 고온에서 표면의 자연 산화막을 제거하는 환원성 분위기로 쓰입니다. 수 %의 수소를 질소로 희석한 포밍 가스로 어닐링하면 Si/SiO2 계면의 댕글링 본드를 수소로 종단하여 계면 준위를 줄일 수 있습니다. 공기 중에서 약 4% 이상이 되면 폭발 위험이 있으므로 누출 감지 하에 사용합니다. 오존과 염소는 산화성 가스입니다.

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