氧化與擴散
擴散係數 D 的單位，下列何者正確？
- Acm⁻³
- Bcm/s
- Ccm²/s
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正確答案：C. cm²/s
擴散係數表示單位時間內擴散開來的面積，單位為 cm²/s（或 m²/s）。擴散開來的距離之估算值為 √(Dt)，將 cm²/s 乘以時間 s 後開平方即為長度。例如矽中的硼在 1000 ℃ 時 D ≈ 2×10⁻¹⁴ cm²/s 左右，1 小時內 √(Dt) ≈ 0.1 µm 左右的擴散距離。
- A. cm⁻³ 是濃度的單位。
- B. cm/s 是速度的單位。
- C. 正確。擴散係數的單位是 cm²/s。