산화와 확산

실리콘의 건식 열산화에서 일어나는 화학 반응으로 올바른 것은?

  1. ASi + O2 → SiO2
  2. BSi + N2 → SiN
  3. CSiO2 + H2 → Si + H2O
정답과 해설 보기

정답: A. Si + O2 → SiO2

건식 산화에서는 고온에서 실리콘과 산소가 반응하여 이산화 실리콘이 만들어집니다(Si + O2 → SiO2). 습식 산화에서는 수증기를 사용하며 Si + 2H2O → SiO2 + 2H2 반응이 일어나고, 생성된 수소가 일부 막 속에 남기 때문에 습식 막은 밀도가 약간 낮습니다. 어느 쪽이든 산화제는 막 속을 확산하여 계면에서 반응하고, 실리콘을 소모하면서 막이 성장합니다.

  • A. 올바릅니다. 실리콘과 산소로 SiO2가 만들어집니다.
  • B. 질소와의 반응으로는 산화막이 만들어지지 않습니다.
  • C. 이는 산화막을 환원하는 역방향 반응이며 산화가 아닙니다.
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