氧化與擴散 在 LOCOS（選擇性氧化）中，氧化層像鳥嘴般侵入氮化膜遮罩邊緣下方的現象稱為什麼？ A碟形凹陷 B缺口效應 C鳥嘴效應 查看答案與解析 正確答案：C. 鳥嘴效應 在 LOCOS 中，被氮化膜覆蓋的部分不會被氧化，但氧化劑會通過氮化膜下方的墊氧化層從側面擴散而使氧化進行，因此氧化層像鳥嘴一樣侵入（鳥嘴效應）。侵入量單側可達氧化層厚度的一半左右，使元件的有效面積減少，所以大約在 0.25 µm 世代起被使用溝槽的 STI 取代。墊氧化層是為了保護矽免受氮化膜的應力而必須存在的。