산화와 확산
LOCOS(선택 산화)에서 질화막 마스크 가장자리 아래로 산화막이 새 부리 모양으로 파고드는 현상을 무엇이라고 합니까?
- A디싱
- B노칭
- C버즈비크
정답과 해설 보기
정답: C. 버즈비크
LOCOS에서는 질화막으로 덮은 부분은 산화되지 않지만, 산화제가 질화막 아래의 패드 산화막을 통해 옆에서 확산해 산화가 진행되므로 새 부리 같은 모양으로 산화막이 파고듭니다(버즈비크). 파고드는 길이는 한쪽에서 산화막 두께의 절반 정도에 달하기도 하여 소자의 유효 면적이 줄어들기 때문에, 0.25 µm 세대 무렵부터 홈을 이용하는 STI로 대체되었습니다. 패드 산화막은 질화막의 응력으로부터 실리콘을 보호하기 위해 필요합니다.