在高壓的氧化氣氛下進行熱氧化的優點，下列何者正確？

正確答案：B. 即使在較低溫度也能快速氧化，並可抑制熱造成的雜質擴散

提高氧化劑的壓力後，溶入氧化層中的氧化劑量會與壓力成正比增加，因此氧化速率（尤其是拋物線速率常數）會上升。例如提高到 10 大氣壓時，速率約為 10 倍，即使大幅降低溫度也能得到相同厚度的薄膜。這可以抑制熱造成的雜質擴散與氧化誘生疊差缺陷等缺陷的產生，一直被用於需要厚氧化層的功率元件等。