계측과 분석
X선을 매우 얕은 각도로 입사시켜 반사율의 진동으로부터 박막의 두께와 밀도를 구하는 기법은?
- ASIMS
- BX선 반사율법(XRR)
- C4탐침법
정답과 해설 보기
정답: B. X선 반사율법(XRR)
XRR에서는 X선을 얕은 각도로 입사시켰을 때의 반사율을 각도를 바꾸며 측정합니다. 막의 표면과 계면에서 반사된 X선이 간섭하여 반사율이 진동하므로, 그 주기로부터 막 두께를, 전반사가 일어나는 임계각으로부터 막의 밀도를, 진동의 감쇠로부터 계면의 거칠기를 구할 수 있습니다. 광학 상수를 가정하지 않고 측정할 수 있어 수 nm의 극박막 평가에 적합합니다. SIMS와 4탐침법은 다른 양을 측정합니다.