배선 공정
배선과 배선 사이를 채우는 층간 절연막의 기본 역할은?
- A배선의 저항을 낮춘다
- B트랜지스터의 문턱 전압을 결정한다
- C배선끼리 전기적으로 절연하여 단락을 막는다
정답과 해설 보기
정답: C. 배선끼리 전기적으로 절연하여 단락을 막는다
층간 절연막은 같은 층의 인접한 배선이나 위아래 층의 배선끼리를 전기적으로 절연하여 단락을 막습니다. 동시에 배선 간 용량을 결정하기 때문에 유전율이 낮은 재료(Low-k)가 사용되게 되었습니다. 또한 CMP를 견디는 기계적 강도, Cu의 확산 방지, 열 방출, 장기 절연 내성 등 많은 성질을 동시에 만족해야 하므로 재료 개발이 어려운 분야입니다.
- A. 절연막은 배선의 저항을 낮추는 것이 아닙니다.
- B. 문턱 전압은 트랜지스터의 게이트 구조 등으로 결정됩니다.
- C. 맞습니다. 배선끼리를 절연합니다.