先進邏輯LSI的導線層數，最接近下列何者？

正確答案：C. 10層以上

先進的邏輯LSI在電晶體上方形成約15層的多層導線。下層配置最小間距20 nm級的微細導線，中層配置中距離導線，上層則配置粗而厚的電源與全域導線。導線製程（BEOL）的步驟數多到可與製作電晶體的製程匹敵，占製造成本的很大比例。隨著背面供電的導入，層結構今後還會進一步改變。