첨단 트랜지스터(FinFET과 GAA)
FinFET에서 단채널 효과를 충분히 억제하기 위해 핀의 폭에 대해 일반적으로 요구되는 것은?
- A게이트 길이와 무관하게 정해도 된다
- B게이트 길이보다 충분히 넓게 한다
- C게이트 길이보다 가늘게 한다
정답과 해설 보기
정답: C. 게이트 길이보다 가늘게 한다
핀이 가늘수록 양쪽 게이트의 전계가 핀의 중심까지 잘 미쳐 게이트에서 먼 부분을 지나는 누설을 억제할 수 있습니다. 기준으로 핀의 폭은 게이트 길이의 절반~같은 정도 이하로 해야 하며, 첨단 세대에서는 5~7 nm 정도까지 가늘어져 있습니다. 다만 너무 가늘게 하면 양자 가둠에 의한 문턱값 변동, 표면 산란에 의한 이동도 저하, 가공 편차가 문제가 됩니다.
- A. 핀의 폭은 단채널 효과 억제에 큰 영향을 줍니다.
- B. 핀이 너무 굵으면 중심부를 게이트로 제어할 수 없어 누설이 늘어납니다.
- C. 맞습니다. 핀을 가늘게 하여 게이트의 제어력을 강화합니다.