先進電晶體(FinFET與GAA)

下列關於完全空乏型 SOI(FD-SOI)電晶體之優點,何者正確?

  1. A可將矽層加厚,並摻入大量雜質
  2. B不再需要閘極電極
  3. C通道的雜質可以減少,能抑制臨界電壓的變異,並容易以基板偏壓調整臨界電壓
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正確答案:C. 通道的雜質可以減少,能抑制臨界電壓的變異,並容易以基板偏壓調整臨界電壓

在 FD-SOI 中,厚度約 5~7 nm 的極薄矽層整體都會空乏,因此即使不在通道中摻入雜質也能抑制短通道效應,並減少隨機摻雜物波動所造成的變異。再者,若透過薄的埋入氧化膜(約 20 nm)從基板側施加電壓,就能動態改變臨界電壓,用於低電壓、低功耗的 IoT、車用與 RF 用途。

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