先進電晶體(FinFET與GAA)
下列關於 GAA(環繞式閘極,Gate-All-Around)型電晶體的說明,何者正確?
- A閘極只覆蓋通道的上表面
- B閘極包覆奈米片等通道的整個外圍
- C沒有閘極,只靠源極與汲極運作
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正確答案:B. 閘極包覆奈米片等通道的整個外圍
GAA 型是將數片厚度數 nm 的薄片狀(奈米片)或細線狀通道堆疊起來,並以閘極包覆其整個外圍的結構。由於從四個方向控制,閘極的控制力比 FinFET 更強,即使閘極長度更短也能抑制短通道效應。Samsung 於 3 nm 世代(2022 年)、TSMC 於 2 nm 世代、Intel 於 18A 世代採用,成為繼 FinFET 之後的標準結構。