磊晶成長
在以MOCVD成長GaN時，作為條件管理的「V/III比」，其意義為下列何者？
- A膜厚與成長時間的比
- B所供應的V族原料（氨等）與III族原料（有機鎵等）的莫耳比
- C成長溫度與壓力的比
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正確答案：B. 所供應的V族原料（氨等）與III族原料（有機鎵等）的莫耳比
V/III比是供應至反應爐的V族元素原料與III族元素原料之量的比。在GaN的成長中，由於氨的分解效率低，且高溫下氮容易逸失，因此將V/III比設得非常大，達數百～數千。V/III比是會影響表面平坦性、橫向與縱向成長速度的平衡、碳等雜質的納入，以及點缺陷量等的重要條件。
- A. 膜厚與時間的比是成長速率。
- B. 正確。是V族與III族原料的供應比。
- C. 不是溫度與壓力的比。