에피택셜 성장
에피택셜층의 결정 품질을 평가하는 X선 회절의 로킹 커브에서, 피크의 반치폭이 좁다는 것은 무엇을 의미하는가?
- A결정의 기울어짐이나 모자이크성, 결함이 적어 결정의 품질이 좋다는 것
- B불순물 농도가 높다는 것
- C막이 두껍다는 것
정답과 해설 보기
정답: A. 결정의 기울어짐이나 모자이크성, 결함이 적어 결정의 품질이 좋다는 것
로킹 커브는 검출기 위치를 고정한 채 시료의 각도를 조금씩 바꾸면서 특정 회절 피크의 세기를 측정한 것입니다. 결정 방향의 흩어짐(모자이크성)이나 전위가 많으면 피크가 넓어지므로, 반치폭(FWHM)이 좁을수록 결정의 품질이 좋음을 나타냅니다. 완전에 가까운 실리콘에서는 수 초각, 사파이어 위의 GaN에서는 수백 초각 정도이며, 전위 밀도를 추정하는 데에도 사용됩니다.
- A. 맞습니다. 결정의 방향이 잘 정렬되어 있고 결함이 적음을 나타냅니다.
- B. 불순물 농도의 직접적인 지표가 아닙니다.
- C. 반치폭은 막 두께의 직접적인 지표가 아닙니다.