シリコンのエピタキシャル成長で、原料ガスと一緒に大量に流される水素(H2)の主な役割はどれか。

正解：C. 原料ガスを運ぶキャリアガスで、表面を清浄に保つ還元性の雰囲気をつくる

シリコンのエピタキシャル成長では、トリクロロシランなどの原料ガスを水素で薄めて反応炉に送ります。水素は原料を運ぶキャリアガスとして働き、還元性の雰囲気で表面の酸化を防ぎ、反応でできた塩素を塩化水素として運び去る役割もあります。

• A. シリコンの原料はシランやクロロシラン類です。
• B. n型のドーパントにはホスフィンなどが使われます。
• C. 正しい。キャリアガスとして使われます。