실리콘의 에피택셜 성장에서 원료 가스와 함께 대량으로 흘려 보내는 수소(H2)의 주된 역할은?

정답: C. 원료 가스를 운반하는 캐리어 가스로서, 표면을 청정하게 유지하는 환원성 분위기를 만든다

실리콘의 에피택셜 성장에서는 트리클로로실란 같은 원료 가스를 대량의 수소로 희석하여 반응로에 보냅니다. 수소는 원료를 운반하는 캐리어 가스로 작용함과 동시에 환원제로서 반응에 참여하여, 환원성 분위기에서 표면의 산화를 막고 반응으로 생긴 염소를 염화수소로 운반해 제거합니다. 표면 실리콘 원자의 결합손을 수소가 종단하여 청정한 상태를 유지하는 역할도 합니다.

• A. 실리콘의 원료는 실란이나 클로로실란류입니다.
• B. n형 도펀트에는 포스핀 등이 사용됩니다.
• C. 맞습니다. 캐리어 가스로 사용됩니다.